Kovar合金與硼硅酸鹽硬質(zhì)玻璃是由Kovar合金與玻璃表面氧化物相互溶解而形成的。因此,Kovar合金的預(yù)氧化是金屬殼體制造中一個(gè)非常重要的過程,也是直接影響密封密封的重要因素。為了實(shí)現(xiàn)氣密密封,kovar合金預(yù)氧化需要Fe3O4和FeO,但不期望Fe2O3。同時(shí),氧化物膜厚度應(yīng)控制在一定范圍內(nèi);如果氧化物膜太薄,氧化物**溶解在玻璃中,導(dǎo)致玻璃與金屬基體表面直接密封,從而降低了密封強(qiáng)度;如果氧化物膜太厚,金屬表面的氧化物粗糙疏松,密封件容易泄漏。為了達(dá)到上述兩個(gè)目的,可以從Kovar合金氧化的熱力學(xué)和動(dòng)力學(xué)出發(fā),通過控制氧化氣氛、溫度和時(shí)間來實(shí)現(xiàn)。
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